高温烧结炉主要用于半导体器件和电源整流器的烧结过程，可以真空烧结、气体保护烧结和一般烧结。高温烧结炉半导体专用设备系列中新颖的工艺设备，设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，可在一台设备上完成多种工艺过程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。使用真高温烧结炉的注意事项是什么？高温烧结炉日常使用有什么应急计划？

  一.冷却剂以上

  1.确认加热电源已停止。

  2.炉子外面漏水，冷却水异常的话，要尽快采取应急措施。如果数量有保证，请继续保持真空。如果不能采取应急措施，请保持原状，确保设备冷却。

  3.冷却水出现异常时，设备处于静止状态，请立即连接紧急用冷却水。

  4.如果冷却水在高温(200以上，即被认为是高温)时中断，不能提供紧急水，水冷电极、热交换器、真空室外壳和各泵都可能受损。

  二.压缩空气停止

  1.在申报压缩空气异常时，设备处于静止状态，应尽快前往替代压缩室恢复工作。

  2.在真空中，如压缩空气异常警报，如果恢复需要很长时间，就终止真空，使设备停止。

  三.停电

  1.停电时停水，应立即连接备用冷却水，连接水源。

  2.在非加热、加热和冷却情况下，如果能尽快恢复，重新启动设备并持续运行需要很长时间，请保持设备不变。

  3.如果正在加热和冷却，则可以尽快恢复时重新启动设备，如果需要很长时间，则可以保持不变，使设备自然冷却。

  四.切断加热电源

  1.水压低于0.15MPa时压力表警报。

  2.接地错误。

  3.真空放电，水冷电极接头和加热器连接处必须牢固连接，与反射屏绝缘。

  4.炉子里的压力在13.3-66.5Pa时(这个真空度很容易发生放电)。电源出现故障，电源损失的原因可以认为是介质破坏引起的放电。

  五.膨胀气体(氩或氮)停止

  1.真空开始前，请确认气体在充电时间长或不能充电时煤气管道是否堵塞。

  2.如果煤气管道没有问题，就要检查电磁阀及煤气膨胀阀的动作，为了安全起见，所有相关设备停止后再检查。

  3.如果真空室不能充气，当溢流阀动作与溢流阀动作相同时，必须关闭所有气体系统，包括供气阀和管道。

  4.检查气体膨胀管道是否有漏气的地方。如果有的话，会影响产品质量。

  六.真空室压力恶化

  1.真空排气时间比平时长的话，要停止设备进行检查，根据真空室内结构的状态，有放气的影响，也有压力增加的情况。

  2.通过压力上升测试或氦气体泄漏确认漏气和放气的影响。