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高温烧结炉日常使用有什么应急计划?

高温烧结炉日常使用有什么应急计划?

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  高温烧结炉主要用于半导体器件和电源整流器的烧结过程,可以真空烧结、气体保护烧结和一般烧结。高温烧结炉半导体专用设备系列中新颖的工艺设备,设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,可在一台设备上完成多种工艺过程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。使用真高温烧结炉的注意事项是什么?高温烧结炉日常使用有什么应急计划?

  一.冷却剂以上

  1.确认加热电源已停止。

  2.炉子外面漏水,冷却水异常的话,要尽快采取应急措施。如果数量有保证,请继续保持真空。如果不能采取应急措施,请保持原状,确保设备冷却。

  3.冷却水出现异常时,设备处于静止状态,请立即连接紧急用冷却水。

  4.如果冷却水在高温(200以上,即被认为是高温)时中断,不能提供紧急水,水冷电极、热交换器、真空室外壳和各泵都可能受损。

  二.压缩空气停止

  1.在申报压缩空气异常时,设备处于静止状态,应尽快前往替代压缩室恢复工作。

  2.在真空中,如压缩空气异常警报,如果恢复需要很长时间,就终止真空,使设备停止。

  三.停电

  1.停电时停水,应立即连接备用冷却水,连接水源。

  2.在非加热、加热和冷却情况下,如果能尽快恢复,重新启动设备并持续运行需要很长时间,请保持设备不变。

  3.如果正在加热和冷却,则可以尽快恢复时重新启动设备,如果需要很长时间,则可以保持不变,使设备自然冷却。

  四.切断加热电源

  1.水压低于0.15MPa时压力表警报。

  2.接地错误。

  3.真空放电,水冷电极接头和加热器连接处必须牢固连接,与反射屏绝缘。

  4.炉子里的压力在13.3-66.5Pa时(这个真空度很容易发生放电)。电源出现故障,电源损失的原因可以认为是介质破坏引起的放电。

  五.膨胀气体(氩或氮)停止

  1.真空开始前,请确认气体在充电时间长或不能充电时煤气管道是否堵塞。

  2.如果煤气管道没有问题,就要检查电磁阀及煤气膨胀阀的动作,为了安全起见,所有相关设备停止后再检查。

  3.如果真空室不能充气,当溢流阀动作与溢流阀动作相同时,必须关闭所有气体系统,包括供气阀和管道。

  4.检查气体膨胀管道是否有漏气的地方。如果有的话,会影响产品质量。

  六.真空室压力恶化

  1.真空排气时间比平时长的话,要停止设备进行检查,根据真空室内结构的状态,有放气的影响,也有压力增加的情况。

  2.通过压力上升测试或氦气体泄漏确认漏气和放气的影响。