气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下气相沉积炉的使用必备技巧吧!

    一.使用气相沉积炉所需技巧

    气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装气相沉积炉的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。

    气相沉积炉的日常使用方法：

    1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。

    2、控制柜安装固定在相应的基础上。

    3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。

    4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。

    5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。

    6、真空电炉各阀门必须在关闭位置。

    7、控制电源开关置于断开位置。

    8、手动调压旋钮逆时针转动头。

    9、将报警按钮置于打开位置。

    10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在设备总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

    小编特别注意使用气相沉积炉时，需要特别注意以下几点。

    1、模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用，加压前计算模具上、下冲头面积，换算成压力。具体公式如下：系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa

    2、热电偶为钨铼型，使用后变脆，不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。

    3、冬季要注意循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。

    4、使用后炉体应保持真空，炉内保温层容易受潮，保持真空下次抽真空会更快。

    5、设备复杂，建议专人使用，专人负责，严格对初学者进行使用前培训，有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。

    6、本热压炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时，请注意在炉内放置坩埚后，合上保温板盖后，不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。7、操作前观察窗玻璃清洁，清扫炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨有无损伤，开机后观察仪表显示是否正常，测试液压系统是否正常工作。

    8、电炉使用一年后，应将仪器送计量部门校准。

    二.气相沉积炉应急方法

    1、冷却水异常

    1、确认加热电源已关闭。

    2、炉外发生漏水，冷却水量异常，应尽快采取应急措施。在能够确保水量的情况下，请继续保持真空，如果无法采取应急措施，请保持原样，确认设备已经冷却。

    3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，立即接通备用冷却水。

    4、高温(超过200即视为高温)时，冷却水停止，如不能紧急输水，水冷电极、换热器、真空室箱及各泵可能损坏。

    气相沉积炉压缩空气的停止

    1、发生压缩空气异常报警时，设备已停机，必须尽快到备用压缩室重新开始工作。

    2、真空中发生压缩空气异常警报，恢复需要很长时间时，中止真空，停止设备。

    气相沉积炉突然停电

    1、停电、停水时，应立即连接备用冷却水，连接水源。

    2、非升温、加热、冷却时，如能尽快恢复，重新启动设备，持续运行需长时间时，保留设备。

    3、在加热和冷却过程中，如能尽快恢复，重新启动设备，如需较长时间，保持原样，使设备自然冷却。

    气相沉积炉加热电源关闭

    1、水压低，水压在0.15MPa以下时，压力表报警。

    2、接地故障。

    3、真空放电，水冷电极端子与加热器连接处应连接牢固，并与反光屏绝缘。

    4、炉内压力为13.3-66.5Pa时(该真空度容易放电)。电源故障、电源下降的原因可能是电介质破坏引起的放电。

    气相沉积炉停止供给气体(氩气或氮气)

    1、开始抽真空前，如果充气时间长或无法充气，请检查气体管路是否堵塞。

    2、燃气管路无问题，应检查电磁阀及充气阀的工作情况，安全起见，关闭所有相关设备后再检查。

    3、无法停止向真空室内填充空气时，压力释放阀等压力释放阀动作时，请关闭包括供气阀及配管在内的所有气体系统。

    4、检查充气管道是否漏气，可能影响产品质量。

    气相沉积炉压力恶化

    1、真空排气时间比平时长时，请停止设备进行检查。根据真空室内的结构物，由于排气的影响，压力可能会上升。

    2、通过压力升高测试或氦气检测泄漏，确认存在漏气和放气影响。以上内容就是小编介绍的使用真空烧结炉的必备技巧和日常应急方法。在真空和保护性气氛中，加热烧结金属、陶瓷和几种难溶金属中间化合物粉末，得到具有一定密度和一定机械性能的材料，通常采用两个工艺;即有压烧结和无压烧结。压烧结具有温度高、真空度高、热压力高的特点。