气相沉积炉是利用感应加热保护性焙烧被加热物的炉，可分为工频、中频、高频等类型，可以属于真空焙烧炉的子类。气相沉积炉是在真空或气氛下，利用中频感应加热原理烧结硬质合金刀头及各种金属粉末压制件的成套设备，为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计，那么如何安全操作气相沉积炉？

    1、中频电源、真空炉炉体、感应轮冷却水源——蓄水池的水必须充满，水中不得有杂质。

    2、启动泵，使中频电源、真空炉感应环、炉体冷却系统水循环正常，水压控制在规定值。

    3、检查真空泵电源系统、安全带松紧、真空泵油是否在油封观察孔中心线。检查结束后，手动转动真空泵丝扣，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下启动真空泵。

    4、检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生、感应圈绝缘良好，真空密封胶带有弹性，尺寸合格。

    5、检查真空炉体杠杆手柄动作是否灵活。

    6、检查旋转式麦氏真空计是否符合要求。

    7、检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。

    8、以上准备就绪，开机中频，按中频启动规律试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。

    9、气相沉积炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉时需进行清扫处理，并进行观察和测温。

    10、入炉时，应根据烧结产品的不同，采取合适的入炉方式。按照材质装炉相关规定进行装盘，不得擅自更改。

    11、为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上包裹两层碳纤维，并盖上隔热屏。

    12、铺真空密封胶带。

    13、操作拉杆手柄，旋转真空炉顶盖与炉体紧密重合，下放顶盖，拧紧锁紧螺母。

    14、逐渐打开蝶阀，放掉炉体空气，直至真空度达到规定值。

    15、真空度达到规定要求后，开始变频，调整中频功率，按有关材质烧结规定操作;升温保温冷却。

    16、烧结结束后，停止变频，按下变频停机开关，停止变频器工作，切断中频电源和总电源。

    17、通过炉体观察孔观察炉膛发黑后，切断真空泵蝶阀和真空泵电流，接自来水继续冷却感应环和炉体，停泵。

    18、中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，注意操作安全，请勿触摸中频控制柜。

    19、烧结过程中，随时通过炉体侧面观察孔观察感应环是否有电弧放电现象，发现异常现象及时报告相关人员处理。20、真空蝶阀动作缓慢。否则，排气太急会出油，带来不良后果。

    21、若不正确使用旋转式麦氏真空计，可能会引起真空读取误差，或操作过急，溢出，引起公害。

    22、注意真空泵带盘的安全运行。

    23、铺真空密封胶带，关闭炉体顶盖时注意不要推手。

    24、真空条件下，易挥发、影响真空卫生、导致管道堵塞、真空泵污染的工件或容器请勿入炉。

    25、产品中有成型剂(如油或石蜡)时，必须脱下才能入炉烧结。否则，可能会导致不良后果。

    26、所有烧结过程中，注意水表压力范围和冷却水循环，避免事故发生。