随着科学技术的发展，传统的高熔点金属制备方法成本较高，气相沉积炉将燃气引入室内，室内基板表面就会发生化学反应，对化学相沉积炉提出了全新的要求，气相沉积炉技术也可以应用于锂电子电池材料，利用气相沉积炉自身的易再现性和前瞻性等特点，那么下面一起了解下认识气相沉积炉及其应用吧!

    气相沉积炉概述

    气相沉积炉是高温下陶瓷生坯固体颗粒相互结合，晶粒变大，孔隙(气孔)和晶界逐渐减小，物质传递使其总体积收缩，密度增加，形成具有某种微观结构的致密多晶烧结体的炉子。

    气相沉积炉原理

    硬质合金烧结原理：以金属(Co，Ni)为主，也称为金属陶瓷材料，以陶瓷相(TiC、TaC、NbC)为基体，在比粘结相高的温度下一体化，该过程称为烧结工艺。

    气相沉积炉的用途

    气相沉积炉主要用于陶瓷粉体、陶瓷套圈和其他氧化锆陶瓷的烧结，金刚石锯片的烧结还用于铜材、钢带退火等热处理，烧结炉由厚膜电路、厚膜电阻、电子元器件电极、LTCC、钢加热器、太阳能电池板等

    气相沉积炉的种类

    工业气相沉积炉覆盖市场大部分高温多晶硅铸锭炉烧结炉，分行业，气相沉积炉种类主要为：

    1.硬质合金领域：

    真空烧结炉、低压(60bar)烧结炉、真空脱脂烧结炉、低压脱脂烧结炉、低压脱脂烧结气体烧结炉)20bar;

    2.粉末冶金领域：

    连续式网带烧结炉(1150度)、推杆式烧结炉(1250度)、钢带烧结炉(1000度)、旋转式烧结炉等;

    3.太阳能领域：

    多晶硅锭炉也是烧结炉的一种。

    烧结炉之一的微波烧结炉的应用

    微波烧结技术的关键是微波加热，将微波电磁能转化为热能，其原理是物质在微波作用下产生电子极化、原子极化、界面极化、偶极子转向极化等方式。

    当然并不是所有的材料都可以用微波加热，根据物质和微波的作用特性，可以将物质分为三类：

    1、透明模具，主要是低损耗的绝缘体。例如，许多高分子材料和部分非金属材料会部分反射和部分透射微波，几乎不吸收微波。这种材料可以长期存在于微波场中，发热量极小，常用作加热腔内的透波材料。例如，是可用于四氟乙烯等微波真空室的透波隔板。

    2、全反射型主要是导电性良好的金属材料，吸收模具主要是介于纤维材料、纸张、木材、碳化硅、氧化锆、荧光粉、陶瓷、水、石蜡等金属与绝缘体之间的介质材料，这些材料对微波的反射系数接近1，只能透过极少量的入射微波，可用作微波加热设备中的波导、微波腔体、搅拌器等;)微波烧结技术的应用对象主要是陶瓷材料和金属粉末材料。

    气相沉积炉技术特点微波加热具有整体性、瞬时性、选择性、环保性、安全性及高效节能等特点。微波作为一种清洁能源，用于微波烧结，成为材料界的研究热点，引起了烧结技术领域的革命。

    气相沉积炉特点：

    1.可显著降低烧结温度，大幅度为500;

    2.大幅度降低能耗，节能达70-90%;

    3.可缩短烧结时间，达到50%以上;

    4.组织致密化、晶粒细化，材料性能改善;

    5.技术精确可控。产品一致性好，质量稳定。

    气相沉积炉应用领域：

    1.陶瓷材料：

    采用微波高温炉烧结各种白瓷、烧结瓷、薄胎瓷、骨灰瓷，采用微波高温炉烧结大红瓷、青花瓷器，成品率大幅提高微波高温炉可以烧结各种氧化物陶瓷材料、氮化物陶瓷材料、碳化物陶瓷材料和复相陶瓷材料，与传统煤气烧结炉和燃料烧结炉相比，降低了一半以上的烧结成本，提高了产品合格率，可以大幅度减少烧结

    2.粉末冶金材料：

    硬质合金：微波高温炉烧结硬质合金刀具已实现大规模工业化生产。快速烧结使碳化物晶粒变细，可以大幅度提高产品性能。用微波高温炉烧结各种钨合金;微波高温炉烧结各种铁基、铜基粉末冶金零件。

    3.磁性材料：

    微波高温炉烧结镍锌软磁铁氧体材料;在相同配比的情况下可以获得更好的高频特性，微波烧结旋转磁体铁氧体材料;微波炉烧结不同牌号锰锌软磁铁氧体材料的频率特性曲线与传统烧结炉烧结相比，微波高温炉烧结的自旋铁氧体材料在不改变配方的情况下，损耗更低，性能更优。

    4.微波合成氮化钒和各种氮化铁合金材料：

    利用微波高温合成技术，可以大规模生产氮化硅铁、氮化锰铁、氮化铬铁等特殊氮化铁合金，不仅可以大幅度降低单位能耗，而且可以提高产品性能指标。