关于气相沉积炉的温度调节点,很多人都在关注实际的峰值温度,烧结炉在温度范围内,过高会被视为过烧,过低会被视为不足烧,两种情况都不是好的烧结效果,牢牢掌握温度的控制是找到烧结温度范围的关键。 那么,下面一起了解下气相沉积炉升降温度如何调节吧!
气相沉积炉在烧结不足的情况下,如果残留有贯通氮化硅的银膏,则进入n型层的银膏也变少,欧姆接触效果差,串联连接的电阻变大。 过度烧成时,银的消费量比通常多,另外银硅形成混合层,该混合层受到阻碍,同样串联连接的电阻变得过大。 因此,仅凭电阻无法推测是下冲还是过冲。
如果无法判断烧结状态,调节区域8的温度,找到大致的调节点,慢慢进行微调。 微调时,可以根据后台的状态进行判断。 如果后场稍微膨胀,由于过热,需要微调降温。 开始烧结前,请确认各加热灯是否正常工作。 检查各温度区灯功率是否高于其他温度区灯的平均值,保证烧结平均。 真空烧结炉是通过高温加热缩小物体或物质形状的设备。 通过减少物体中的空隙,逐渐聚集晶界,逐渐连接固体粒子,实现提高密度,缩小物体的多晶烧结体设备。
那么气相沉积炉平时应该怎么维护呢?
1、设备进出口仓库、传动仓库确保清洁无垃圾。
2、用排污口清扫用酒精清扫上面的有机物。
3、型腔内部主要查看各通气孔有无堵塞。
4、灯管如有有机物可用无纺布或酒精棉擦拭清洗。
5、如果是斜角网带,可以边移送120边烤软后拨出。
6、针网时,可以用砂纸慢慢打磨,防止对电池片的损伤。
气相沉积炉特别注意:
1、模具一般由用户自备,模具材料基本采用高纯石墨,其耐压极限为40MPa。 建议用户在30MPa以下使用,加压前计算模具上、下冲头面积,换算成压力。 具体公式如下:
气相沉积炉系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa
如不提前计算盲目加压造成的模具、压块、发热件、保温屏等石墨制品损坏,本公司概不负责。
2、热电偶为钨铼型,使用后变脆,不能接触,破损时请立即更换。 其型号为W2型。
3、冬季要注意循环水的保温问题。 否则容易发生自来水管破裂。
4、使用后气相沉积炉体应保持真空,炉内保温层容易受潮,保持真空下次抽真空会更快。
5、设备复杂,建议专人使用,专人负责,严格对初学者进行使用前培训,有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。