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IGBT实验石墨化炉
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产品型号规格 |
JR-SMH-Φ10X15 |
JR-SMH-Φ20X30 |
JR-SMH-Φ30X40 |
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容积(L) |
1.1 |
10 |
28 |
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额定温度(℃) |
2800 |
2800 |
2800 |
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极限温度(℃) |
3000 |
3000 |
3000 |
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有效加热区(mm) |
Φ100X150 |
Φ200X300 |
Φ300X400 |
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功率(KW) |
30 |
50 |
80 |
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频率(HZ) |
4000 |
2500 |
2500 |
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控温方式 |
日本岛电温控器 |
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加热方式 |
感应加热 |
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真空系统 |
旋片式真空泵（真空度要求高加配罗茨真空泵与油扩散泵） |
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烧结气氛 |
N²、Ar |
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额定电源电压(V) |
380 |
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额定加热电压(V) |
根据设计确定，配置变压器 |
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真空极限度(Pa) |
100（真空冷态） |
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