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化学气相沉积炉
产品描述
用途:可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.
特点:
●采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
●采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
●采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
●采用防腐蚀真空机组设计,持续工作时间长,维修率低。
沉积炉主要配置
●炉门:丝杠升降//液压升降/;手动锁紧/自动锁圈锁紧
●炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
●炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
●加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
●工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
●真空泵和真空计---进口/国产
●人机界面:触摸屏/工控机
●电器元件:正泰/施耐德/西门子
参数\型号 |
JR-CJL-Φ30×50 |
JR-CJL-Φ60×80 |
JR-CJL-Φ80×120 |
JR-CJL-Φ100×150 |
JR-CJL-Φ110×200 |
容积(L) |
35 |
226 |
602 |
1177 |
1899 |
最高温度(℃) |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
工作区尺寸D×H(mm) |
Φ300×500 |
Φ600×800 |
Φ800×1200 |
Φ1000×1500 |
Φ1100×2000 |
控温方式 |
日本岛电温控仪 |
||||
加热方式 |
电阻加热 |
||||
真空系统 |
抗污泵或滑阀泵+罗茨泵 |
||||
烧结气氛 |
碳氢气体等 |
||||
额定电源电压(V) |
380 |
||||
额定加热电压(V) |
根据设计确定,配置炉前变压器 |
||||
真空极限度(Pa) |
6X10ˉ²(真空冷态) |
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无
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