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化学气相沉积炉

没有此类产品
产品描述
用途:可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.
 
特点:
●采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
●采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
●采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
●采用防腐蚀真空机组设计,持续工作时间长,维修率低。
 
沉积炉主要配置
●炉门:丝杠升降//液压升降/;手动锁紧/自动锁圈锁紧
●炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
●炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
●加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
●工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
●真空泵和真空计---进口/国产
●人机界面:触摸屏/工控机
●电器元件:正泰/施耐德/西门子

参数\型号

JR-CJL-Φ30×50

JR-CJL-Φ60×80

JR-CJL-Φ80×120

JR-CJL-Φ100×150

JR-CJL-Φ110×200

容积(L)

35

226

602

1177

1899

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

工作区尺寸D×H(mm)

Φ300×500

Φ600×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1100×2000

控温方式

日本岛电温控仪

加热方式

电阻加热

真空系统

抗污泵或滑阀泵+罗茨泵

烧结气氛

碳氢气体等

额定电源电压(V)

380

额定加热电压(V)

根据设计确定,配置炉前变压器

真空极限度(Pa)

6X10ˉ²(真空冷态)

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暂未实现,敬请期待
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