产品描述
C/C复合材料大型沉积炉
用途：
可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
特点
采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小;
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强;
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好;
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
采用防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低;
化学气相沉积炉主要配置
结构形式：卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
人机界面：触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子
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参数\型号 |
XR-CJL-Φ110×200 |
XR-CJL-Φ150×200 |
XR-CJL-Φ260×320 |
XR-CJL-Φ330×200 |
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容积（L） |
1900 |
3534 |
16989 |
17105 |
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最高温度（℃） |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
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工作区尺寸D×H（mm） |
Φ1100×2000 |
Φ1500×2000 |
Φ2600×3200 |
Φ3300×2000 |
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控温方式 |
日本岛电温控仪 |
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加热方式 |
电阻加热/感应加热 |
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真空系统 |
抗污泵 |
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烧结气氛 |
碳氢气体等 |
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额定电源电压（V） |
380 |
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额定加热电压（V） |
根据设计确定，配置炉前变压器 |
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极限真空度（Pa） |
1-100（真空冷态） |
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